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真空闸阀、真空旋板阀、真空角阀、真空比例阀及控制器的研发是专门针对国内半导体、太阳能光伏材料生产设备的真空压力控制开发。目前已应用在单晶炉、碳化硅炉、蓝宝石炉等设备上，实现了进口产品的国产替代。
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