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一种用于碳化硅外延的气体分流装置
一种全自动插片机3
一种单晶炉真空泵快速加油装置
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一种全自动插片机
一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头
一种全自动插片机4
一种传动软轴
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一种长度可自动补偿的除尘布袋的高效振动装置
一种用于操纵衬底的工具及包含工具的外延生长炉
一种全自动插片机2
工件组装流水线
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一种自发电高空监控装置
一种用于波纹管焊接的机械手装置
一种粉尘清理装置及包含该装置的单晶炉尾气自动除尘器
一种单晶炉快速冷却装置
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一种用于碳化硅外延的隔热罩装置
一种用于操纵衬底的工具及包含该工具的外延生长炉
一种全自动插片机1
笑直工装夹具
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一种用于外延生长的反应装置
一种全自动插片机6
一种钢管轴端法兰盘焊接用夹具
单晶炉自动清灰除尘罐
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一种梯形丝杠升降系统用螺母磨损检测报警和保护装置
一种全自动插片机5
一种钢管轴端法兰盘钻孔用加工夹具
单晶炉自动清灰除尘器监控软件