荣誉证书
专利证书
  • 一种全自动插片机的入篮装置

    一种用于碳化硅外延的气体分流装置

    一种全自动插片机3

    一种单晶炉真空泵快速加油装置

  • 一种全自动插片机

    一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头

    一种全自动插片机4

    一种传动软轴

  • 一种长度可自动补偿的除尘布袋的高效振动装置

    一种用于操纵衬底的工具及包含工具的外延生长炉

    一种全自动插片机2

    工件组装流水线

  • 一种自发电高空监控装置

    一种用于波纹管焊接的机械手装置

    一种粉尘清理装置及包含该装置的单晶炉尾气自动除尘器

    一种单晶炉快速冷却装置

  • 一种用于碳化硅外延的隔热罩装置

    一种用于操纵衬底的工具及包含该工具的外延生长炉

    一种全自动插片机1

    笑直工装夹具

  • 一种用于外延生长的反应装置

    一种全自动插片机6

    一种钢管轴端法兰盘焊接用夹具

    单晶炉自动清灰除尘罐

  • 一种梯形丝杠升降系统用螺母磨损检测报警和保护装置

    一种全自动插片机5

    一种钢管轴端法兰盘钻孔用加工夹具

    单晶炉自动清灰除尘器监控软件

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